陈武鹏：发表了帖子 TFT-LCD制程中的设备
 ü在5MASK工艺中，每道工序均要经过清洗、成膜、涂布、曝光、（打码）、显影、干湿刻、PR剥离等7道主要工序。简述流程如下： ü基板投入à清洗-->（异物检查）à成膜（金属膜用PVD溅射，非金属膜用PECVD）à涂布à…