吴玉翠：发表了文章 汽车MEMS传感器应用及发展
摘要：MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。　用此技术研制的五花八门的微传…