张晶晶：2015/5/27完成大功率射频电源维修，MKS QL10513，10.5KW 13.56MHz,同品牌的修过MKS QL6513，6KW 13.56MHz ,故障情况表现为输出功率低只有200W，报警电流不平衡，无法工作，通过检测内部射频功率组件，控制板电路，发现问题并解决。